光栅掠入射腔对ArF激光线宽的压缩和调谐

对国内首次研制成功的 Ar F准分子激光器实现了窄线宽可调谐运转 ,提出并利用光栅掠入射腔实现了线宽小于 0 .0 2 0 nm的窄线宽和连续调谐运转 ,注入到放大级实现了脉冲能量大于 40 m J的窄线宽可调谐激光输出。设计利用氧气吸收光谱对处于真空紫外的 Ar F激光实现了波长标定和线宽的准确测量。