新型反射式闪耀光栅楔形平板

提出并设计了一种新型光学元件--反射式闪耀光栅楔形平板.在玻璃楔形平板的倾斜表面上加工锯齿形闪耀光栅,在光栅的表面镀相应的金属反射膜,形成反射式闪耀光栅.当光线垂直楔形平板底面入射时,闪耀级次的衍射光可以沿入射方向返回,使该级次衍射光的能量得到充分利用,可以应用在在需要保持反射光线方向不变的场合.该元件兼具闪耀光栅和楔形平板的特性,通过实验对光线的能量和方向特性进行了验证,实验结果表明,+1级衍射光沿入射光线方向返回,并且能量的89.36% 都集中在这一级上.转角测量的实验结果表明,该元件能使转角测量的范围扩大为0～360°以及大于360°的任意角度,转角测量的重复性精度可以达到0.632'.

光栅楔形平板激光干涉法任意转角测量系统误差分析

将光栅楔形平板加入到激光干涉测角系统中,实现任意转角的高精度测量。本文全面详细的分析了系统的误差因素,并进行了实验验证。结果表明,采用该系统测量任意转角,重复性达到0.63″,与理论分析结果相吻合。