数字式光栅测长仪温度测量定标系统

为满足数字式光栅测长仪测量精度进一步提高的需要,为数字式光栅测长仪测温系统设计制作了一种高精度多路温度定标系统。根据热传导理论,分析了系统设计的合理性。同时通过实验检测证实了该系统的实用性。该系统具有成本低、精度高、操作方便、易于在现场推广应用等优点。用该系统定标的多路温度测量仪送法定计量部门检定,检定结果表明该系统达到预定的标准。

数字式光栅测长仪温度测量系统

为满足数字式光栅测长仪测量精度进一步提高及自动测量的需要,设计制作了一套适用于数字式光栅测长仪的高精度多路温度测量系统。系统采用新型数字式温度传感器,将温度量直接转换为数字量,对得到的数字量经混频、选频、放大整形后送单片机处理,处理后送数码管显示,数码管显示的数值即为所测温度值。在保证电路各项性能的条件下,采用尽可能简单的电路,使电路的可靠性得以提高。由于从温度采集到显示都是数字量,所以具有很高的精度及很强的抗干扰能力,且不受电源波动影响。经计量部门检定,测量精度达±0.1℃。在同精度的温度仪中,成本相对很低。

亚微米数显光栅测长仪及其示值误差的测定

本文对亚微米数显光栅测长仪作了简介，论述了误差的组成，讨论了示值误差的两种评定方法，并简述了示值误差的检测。

光栅测长仪的测量误差分析

介绍了光栅测量仪测量误差产生的几种原因,并探究了光栅测长仪的系统误差,为光栅测长仪的理论研究与实际应用提供了参考与借鉴。

基于89C52测温系统在测长仪上的应用

为满足数字式光栅测长仪测量精度的进一步提高,设计制作了一套适用于数字式光栅测长仪的高精度多路温度测量系统。系统采用新型数字式温度传感器,将温度量直接转换为数字量,送AT89C52处理。通过AT89C52处理后的温度数值由数码管显示。在保证电路各项性能的条件下,采用了尽可能简单的电路,同时提高了温度测量的精度以及抗干扰能力,且不受电源波动影响。经法定计量部门检定,测量精度达±0.1℃。在同精度的测温仪中,成本相对很低。

贝叶斯理论在光栅动态误差预报中的应用

针对实际测量过程中需要对数据量较少的非平稳性误差进行随机序列建模预报,提出了贝叶斯动态测量误差序列的预报方法。该方法不要求较大的数据量,对序列平稳性无限制,而且在预报过程中间隔插入标准量能有效提高预报精度。设计了一个光栅测长仪动态误差测量实验系统,利用贝叶斯预报方法对其动态误差数据进行建模预报,验证了贝叶斯预报方法的适用性和可行性。

应用新光源、国产光致抗蚀剂,光刻高精度长光栅

本文叙述了多功能光栅测长仪光栅尺的光刻工艺,文中就采用新冷光源,选择负性光致抗蚀剂,获得高精度、高反差,低反射黑铬光栅线及有关技术问题等进行了讨论。