粗光栅线位移测量系统细分误差补偿前后的精度分析

本文针对粗光栅线位移测量系统的误差来源 ,在大量实验的基础上 ,经过理论分析 ,得出细分误差与本底噪声的线性关系式 ,找到了系统修正误差时的理论依据。同时对系统在细分误差补偿前后作了精度分析。

光栅线位移传感器的误差分析

在光栅测量仪器中，光栅传感器的误差是影响整个仪器精度的主要因素，主要产生在光栅的刻制、传感器结构及传感器的安装等方面。本文着重分析了光栅线位移传感器的误差来源，并给出了相应的消误差方法，为提高传感器设计精度提供了理论依据。

光栅线距测量仪的设计

采用测量光束衍射角的方法,设计了一种作为标准块的光栅线距测量仪。实验表明,在实验室条件(20±1)℃,(760±10)mmHg的工作条件下,该测量仪可以测量线距800nm的光栅,测量不确定度在10-5。

立体印刷用柱镜光栅线数检测方法研究

目的研究一种快速准确检测立体印刷用柱镜光栅线数的方法。方法柱镜光栅固定在测试平台上,测头基座沿水平方向移动,同时保证测头上的触头在垂直方向始终保持与光栅表面接触;然后由计算机实时采集测头水平方向和垂直方向的位移,把数据保存到数据库,并在计算机屏幕上显示柱镜光栅表面曲线;最后把测头水平方向和垂直方向的位移数据代入数据处理算法,计算出被测光栅线数。结果以100线的柱镜光栅作为被测光栅进行测试,测试结果与传统方法检测的线数非常接近,并且能在60 s内完成测试。结论该方法避免了传统人工观测带来的误差,并把测试时间由300 s降至60 s,具有高效率、高稳定性和高可靠性的优点。

2m光栅线纹自动测量仪

描述一台能够对长度达１ｍ的线纹尺和长度达２ｍ的光栅尺（和光栅线位移传感器）进行自动测量的激光干涉仪。干涉仪设计成双干涉光路系统，以消除光栅尺安装引入的阿贝误差。这台测量仪采用干涉条纹计数原理，对光栅尺和线纹尺的线值精度进行检测，并能对光栅信号的质量进行评价。测量过程中。

高低温环境光栅线位移传感器校准装置精度设计

介绍了一种高低温环境光栅线位移传感器校准装置,该校准装置通过机械传动的方式将高低温环境下的位移量传递至常温环境中来实现校准功能。误差计算结果表明,该校准装置的最大允许误差为1.4μm,满足高低温环境光栅线位移传感器的校准精度要求。

光栅线位移传感器的结构原理和安装与维护

光栅数显测量系统是一种能自动检测和自动显示的光机电一体化产品,是改造旧机床,装备新机床以及各种长度计量仪器的重要配套件,是用微电子技术改造传统工业的方向之一。由于光栅数显测量系统具有精度高,安装及操作容易,价格低,回收投资快等优点而得到大量使用。为使广大用户能够更好地掌握运用好这一产品。

线光栅付相对旋转的莫尔条纹及其应用

导出了线光栅付相对旋转时的莫尔条纹光电信号与栅线间夹角之间的关系式 ,讨论了线光栅相对旋转测量小角度的范围 .

粗线纹光栅接长技术研究

光栅线上移传感技术在机床数控、数显中占有重要的地位，但其接长非常困难，以至于目前我国除粗线纹光栅外，能接长到３ｍ以上的位移传感器还没有实用化的。本文针对实用化接长技术需要，借助于粗线纹光栅特殊的测量原理，提出了一种新的接长方法，在理论上作了初步探讨，并作了实验验证．该接长方法已用于工厂现场，接长６．４ｍ坐标．

立体印刷光栅板线数测量技术分析

立体印刷是现代印刷工艺的一个分支，是将三维立体成像技术与现代印刷工艺的特种表现手法融为一体的新型工艺。立体印刷根据光学原理，利用光栅板（或光栅膜）使印刷图像呈现立体感，是平面印刷工艺的补充和提高，为印刷工艺增添了新的内涵和活力。目前在广告、艺术品、装饰品和包装装潢等附加值较高的领域得到广泛应用，如户外展板、高级食品或化妆品的外包装盒、容器盖等诸多方面。

两米光栅—线纹自动测量仪(一)

描述了一台能够对长度达1m的线织尺和长度达2m的光栅尺（线位移传感器）进行测量的激光干涉仪，干涉议设计成了双干涉光路系统，以消除光栅尺安装引入的阿贝误差。这台测量仪采用干涉条纹计数原理，对光栅尺和线组尺的线值精度进行检测，并能对光机信号的质量进行评价。测量过程中，对空气折射率实现了实时修正。

立体印刷制作工艺光栅板参数的选择

简述立体印刷成像原理,分析柱透镜光栅板光学功能,讨论了与立体印刷光栅条纹图像相匹配的柱透镜光栅板的相关参数———光栅线数、折射率、视角范围及透射率等,对图像立体显示效果的影响。只有这些参数选择得当,才能使平面印刷图像取得好的立体效果。

基于衍射光栅的CCD相机标定方法

提出一种基于1维线衍射光栅的CCD相机光电响应特性标定方法,该方法利用衍射光栅对入射光束的分束特性,在远场焦平面内形成一系列衍射子光斑,采取有效的方法对多组衍射子光斑峰值测量数据进行融合,得到测量灰度值及通过理论计算得到的理论灰度值,拟合两组数据从而完成对CCD光电响应特性的标定。根据实验室现有的激光源与聚焦光学系统的参数,设计了一系列1维线光栅,完成某特性未知的红外CCD相机对中红外激光光电响应特性的标定。该标定方法具有光能利用率高的特点,多组测量数据的融合扩大了CCD标定的范围,并对标定结果在光斑真实形态重构中的应用进行了分析讨论。

计量光栅测量技术研究

计量光栅形成的莫尔条纹对位移的光学放大作用,在位移精确测量领域有很高的工程价值。光栅线位移传感器得到很大发展,成为该领域关键技术。

小议计量光栅测量技术应用

计量光栅形成的莫尔条纹对位移的光学放大作用，在位移精确测量领域有很高的工程价值。光栅线位移传感器得到很大发展，成为该领域关键技术。笔者结合多年工作经验，本文主要对计量光栅测量技术应用进行分析。

粗光栅位移测量系统精度与跟踪速度分析

从MOS图像传感器构成的粗线纹光栅位移测量系统的原理出发，对光栅测量系统的精度和跟踪速度这两个最重要的问题进行了理论分析。指出了限制系统精度与跟踪速度的因素，讨论了传感头加速度对系统精度的影响，为进一步研制高精度、高跟踪速度的粗光栅测量系统打下了基础。

五轴联动磁流变抛光中双摆轴角度计算

在光栅线轨迹模式下,曲面工件的磁流变抛光需通过五轴联动来实现,基于自研的PKC-600Q磁流变抛光机床运动轴配置的几何模型,给出了由曲面解析式得到的被加工点的方向余弦,并详细推导两个摆动轴角度的计算方法。该方法易于理解,不依赖CAD/CAM软件,便于集成到磁流变抛光专用工艺软件中,同时也可以在曲面工件其他方法加工中参考应用。

机床爬行的测量与消除

爬行一直是影响机床传动精度、定位精度和加工精度的重要因素,爬行的测量方法很多,文中提供了一种用光栅线位移传感器测量爬行的方法,并介绍了如何消除和防止爬行。

高精密运动工作台控制系统的设计与研究

设计并研制了用于母盘刻录机的高精密运动工作台及其控制系统。工作台控制系统采用线光栅作为工作台位移检测工具。采用数字位置环和模拟电流环组成双闭环随动系统,其中位置控制器是带有速度前馈和加速度前馈的数字PID伺服滤波器。实验结果表明,该系统可以满足母盘刻录机的要求。