光栅线距测量仪的设计

采用测量光束衍射角的方法,设计了一种作为标准块的光栅线距测量仪。实验表明,在实验室条件(20±1)℃,(760±10)mmHg的工作条件下,该测量仪可以测量线距800nm的光栅,测量不确定度在10-5。