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非共振型压电电机驱动的大行程精密定位旋转平台的建模和实验
被引量:
8
1
作者
黄卫清
陶杰
+2 位作者
孙梦馨
王寅
卢倩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期2712-2720,共9页
针对目前光波导封装使用的精密定位平台行程小,结构与控制系统复杂的问题,提出了非共振型压电电机驱动的大行程精密旋转定位平台。该平台通过压电电机的连续作动和步进作动两种工作模式来满足大行程和高精度要求。首先对该精密旋转定位...
针对目前光波导封装使用的精密定位平台行程小,结构与控制系统复杂的问题,提出了非共振型压电电机驱动的大行程精密旋转定位平台。该平台通过压电电机的连续作动和步进作动两种工作模式来满足大行程和高精度要求。首先对该精密旋转定位平台进行动力学建模,确定了系统运动方程。然后,分析其作动机理,研究影响旋转平台转速的不同因素。最后,实验研究该精密旋转定位平台的速度、步距、分辨率与负载特性,确定平台连续作动与步进作动的驱动方式。实验结果表明,在直流偏置为60V,峰峰电压为120V,频率为180 Hz的正弦波电压激励下,该精密旋转定位平台最大转速可达47 963.2μrad/s,分辨率和最大负载分别为3μrad和60g。与现有的大行程精密定位旋转平台相比,设计的平台具有行程大,精度高,结构简单,稳定可控,且装配调试方便,易于批量化生产等优势。
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关键词
大行程旋转平台
非共振压电电机
精密定位
光波导封装
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职称材料
多体系统理论的四轴运动平台综合空间误差建模
被引量:
6
2
作者
杨程旭
郑煜
徐洲龙
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2009年第4期1-4,共4页
平面波导芯片与阵列光纤之间的对准,主要依靠器件封装设备运动平台的六维全空间亚微米精度运动控制,来实现其精确定位对准,基于多体系统理论,阐述四轴运动平台综合空间误差的建模过程,为阵列光波导器件封装设备运动平台的精度分析和误...
平面波导芯片与阵列光纤之间的对准,主要依靠器件封装设备运动平台的六维全空间亚微米精度运动控制,来实现其精确定位对准,基于多体系统理论,阐述四轴运动平台综合空间误差的建模过程,为阵列光波导器件封装设备运动平台的精度分析和误差补偿,提供一种理想的建模技术。
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关键词
光波
导
器件
封装
多体系统
空间误差
误差建模
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职称材料
题名
非共振型压电电机驱动的大行程精密定位旋转平台的建模和实验
被引量:
8
1
作者
黄卫清
陶杰
孙梦馨
王寅
卢倩
机构
南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室
华侨大学精密测量技术及仪器研究中心
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期2712-2720,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51375224)
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(No.91223201)
+2 种基金
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.51405420)
江苏省自然科学基金青年基金资助项目(No.BK20140474)
江苏高校优势学科建设工程资助项目
文摘
针对目前光波导封装使用的精密定位平台行程小,结构与控制系统复杂的问题,提出了非共振型压电电机驱动的大行程精密旋转定位平台。该平台通过压电电机的连续作动和步进作动两种工作模式来满足大行程和高精度要求。首先对该精密旋转定位平台进行动力学建模,确定了系统运动方程。然后,分析其作动机理,研究影响旋转平台转速的不同因素。最后,实验研究该精密旋转定位平台的速度、步距、分辨率与负载特性,确定平台连续作动与步进作动的驱动方式。实验结果表明,在直流偏置为60V,峰峰电压为120V,频率为180 Hz的正弦波电压激励下,该精密旋转定位平台最大转速可达47 963.2μrad/s,分辨率和最大负载分别为3μrad和60g。与现有的大行程精密定位旋转平台相比,设计的平台具有行程大,精度高,结构简单,稳定可控,且装配调试方便,易于批量化生产等优势。
关键词
大行程旋转平台
非共振压电电机
精密定位
光波导封装
Keywords
rotary positioner with large stroke
non-resonant piezoelectric motor
precision positioning
waveguide packging
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
多体系统理论的四轴运动平台综合空间误差建模
被引量:
6
2
作者
杨程旭
郑煜
徐洲龙
机构
中南大学现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室
出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2009年第4期1-4,共4页
基金
国家自然科学基金重点项目(50735007)
国家863高技术研究发展计划项目(2007AA04Z344)
文摘
平面波导芯片与阵列光纤之间的对准,主要依靠器件封装设备运动平台的六维全空间亚微米精度运动控制,来实现其精确定位对准,基于多体系统理论,阐述四轴运动平台综合空间误差的建模过程,为阵列光波导器件封装设备运动平台的精度分析和误差补偿,提供一种理想的建模技术。
关键词
光波
导
器件
封装
多体系统
空间误差
误差建模
Keywords
optical waveguide packaging
multi-body system
universal volumetric error
error modeling
分类号
TP202 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非共振型压电电机驱动的大行程精密定位旋转平台的建模和实验
黄卫清
陶杰
孙梦馨
王寅
卢倩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
8
下载PDF
职称材料
2
多体系统理论的四轴运动平台综合空间误差建模
杨程旭
郑煜
徐洲龙
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2009
6
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职称材料
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