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题名光湿敏元件及特性
被引量:1
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作者
郭志友
黄钊洪
李观启
黄美浅
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机构
华南师范大学量电所
华南理工大学物理系
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2002年第4期33-36,25,共5页
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文摘
介绍硅衬底的半导体陶瓷材料钛酸镧锶 (Sr1-x Lax Ti O3 )光湿敏元件的工作原理及结构 ,MIS结构元件的光湿敏特性参数和曲线。利用光湿敏元件研制成光湿敏传感器和测量仪 ,智能光湿敏测量仪具有软件湿度补偿、智能判断声光报警等特性。
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关键词
光湿敏元件
钛酸镧锶
MIS结构
相对湿度
工作原理
光湿敏传感器
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Keywords
strontium lanthanium titanate, MIS structure, sensor, relative humidity
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分类号
TN379
[电子电信—物理电子学]
TN212.1
[电子电信—物理电子学]
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题名新型光湿敏元件及应用
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作者
郭志友
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机构
华南师范大学信息光电子科技学院
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期20-21,共2页
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文摘
介绍了利用硅作衬底的陶瓷钛酸镧锶 (SrLaTiO3)材料的半导体元件 ,独特的MIS结构元件 ,既具有光的特性 ,又可以测量湿度信号。利用光、湿敏特性元件设计成光。
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关键词
光湿敏元件
MIS结构
传感器
相对湿度
陶瓷钛酸镧锶材料
传感器
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Keywords
MIS structure,luminosity-humidity components,sensor,relative humidity
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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