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光湿敏元件及特性 被引量:1
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作者 郭志友 黄钊洪 +1 位作者 李观启 黄美浅 《应用光学》 CAS CSCD 2002年第4期33-36,25,共5页
介绍硅衬底的半导体陶瓷材料钛酸镧锶 (Sr1-x Lax Ti O3 )光湿敏元件的工作原理及结构 ,MIS结构元件的光湿敏特性参数和曲线。利用光湿敏元件研制成光湿敏传感器和测量仪 ,智能光湿敏测量仪具有软件湿度补偿、智能判断声光报警等特性。
关键词 光湿敏元件 钛酸镧锶 MIS结构 相对湿 工作原理 湿传感器
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新型光湿敏元件及应用
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作者 郭志友 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期20-21,共2页
介绍了利用硅作衬底的陶瓷钛酸镧锶 (SrLaTiO3)材料的半导体元件 ,独特的MIS结构元件 ,既具有光的特性 ,又可以测量湿度信号。利用光、湿敏特性元件设计成光。
关键词 光湿敏元件 MIS结构 传感器 相对湿 陶瓷钛酸镧锶材料 传感器
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