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激光化学气相沉积(连载之一)
被引量:
4
1
作者
张魁武
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期118-126,共9页
本讲座介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及薄膜的性能。
关键词
激光
化学气相沉积
激光
诱导
激光
辅助
光
解
激光
热
解
激光
光热共解激光
下载PDF
职称材料
激光化学气相沉积(连载之二)
被引量:
1
2
作者
张魁武
《金属热处理》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期94-101,共8页
介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及薄膜的性能。
关键词
激光
化学气相沉积
激光
诱导
激光
辅助
光
解
激光
热
解
激光
光热共解激光
下载PDF
职称材料
激光化学气相沉积(连载之三)
3
作者
张魁武
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期105-113,共9页
本讲座介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及薄膜的性能。
关键词
激光
化学气相沉积
激光
诱导
激光
辅助
光
解
激光
热
解
激光
光热共解激光
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职称材料
题名
激光化学气相沉积(连载之一)
被引量:
4
1
作者
张魁武
机构
北京机床研究所
出处
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期118-126,共9页
文摘
本讲座介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及薄膜的性能。
关键词
激光
化学气相沉积
激光
诱导
激光
辅助
光
解
激光
热
解
激光
光热共解激光
Keywords
laser chemical vapour deposition (LCVD)
laser inducement
laser assisted
photolytic laser
pyrolytic laser
photothermallytic laser
分类号
TG156.99 [金属学及工艺—热处理]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
激光化学气相沉积(连载之二)
被引量:
1
2
作者
张魁武
机构
北京机床研究所
出处
《金属热处理》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期94-101,共8页
文摘
介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及薄膜的性能。
关键词
激光
化学气相沉积
激光
诱导
激光
辅助
光
解
激光
热
解
激光
光热共解激光
Keywords
laser chemical vapour deposition (LCVD)
laser inducement
laser assisted
photolytic laser
pyrolytic laser
photothermallytic laser
分类号
TG156.99 [金属学及工艺—热处理]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
激光化学气相沉积(连载之三)
3
作者
张魁武
机构
北京机床研究所
出处
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期105-113,共9页
文摘
本讲座介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及薄膜的性能。
关键词
激光
化学气相沉积
激光
诱导
激光
辅助
光
解
激光
热
解
激光
光热共解激光
Keywords
laser chemical vapour deposition (LCVD)
laser inducement
laser assisted
photolytic laser
pyrolytic laser
photothermallytic laser
分类号
TG156.99 [金属学及工艺—热处理]
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激光化学气相沉积(连载之一)
张魁武
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2007
4
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职称材料
2
激光化学气相沉积(连载之二)
张魁武
《金属热处理》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
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职称材料
3
激光化学气相沉积(连载之三)
张魁武
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2007
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