激光扫描测量直径

提出一种应用光电共轭原理实现边界检出并进行激光扫描测量直径的新方法。采用该方法 的测量系统中,参考信号是测量信号的反向共轭函数,两函数的一对交点与被测工件边界相对应,工件直径可通过测量两函数交点之间的距离获得。实践验证了该方法的可行性,其边界检出精度±1μm,连续工作漂移不大于±5μm。