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量值恒定的表面光电压法测量半导体少子扩散长度的研究 被引量:1
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作者 邓韡 陈长缨 +1 位作者 洪岳 傅倩 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期751-753,共3页
为了在保持材料完整性的基础上,对单晶硅材料的质量进行评价,设计了一种利用表面光电压测量半导体少子扩散长度的系统。系统采用斩波器、单色仪和锁相放大器来获取半导体表面光电压信息,利用表面光电压与材料的光吸收系数的关系得出半... 为了在保持材料完整性的基础上,对单晶硅材料的质量进行评价,设计了一种利用表面光电压测量半导体少子扩散长度的系统。系统采用斩波器、单色仪和锁相放大器来获取半导体表面光电压信息,利用表面光电压与材料的光吸收系数的关系得出半导体少子扩散长度。重点阐述了系统的测量原理及各个模块的设计与实现方法。检测结果表明,量值恒定的表面光电压法用于测量半导体少子扩散长度能达到预期的效果。 展开更多
关键词 量值恒定表面光电压法 少子扩散长度 锁相放大器
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表面光电压法测量a-Si:H少子扩散长度的进一步研究 被引量:2
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作者 张治国 宿昌厚 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第4期348-356,共9页
建立用SPV法测量a-Si∶H薄膜少子扩散长度L_p的新的数学模型,推导出可供具有任意输入端口(电流输入或电压输入)的锁相放大器所使用的测量L_p的数学表达式,为改进测试过程和提高准确度创造了条件。对合理选择偏置光强度做了较细致的分析... 建立用SPV法测量a-Si∶H薄膜少子扩散长度L_p的新的数学模型,推导出可供具有任意输入端口(电流输入或电压输入)的锁相放大器所使用的测量L_p的数学表达式,为改进测试过程和提高准确度创造了条件。对合理选择偏置光强度做了较细致的分析,并从实验技术上提出确定偏置光强度的选择准则,给出了测试结果;也分析了不同强度偏置光和不同金属与a-Si∶H肖特基结对测量结果的影响。 展开更多
关键词 表面光电压法 测量 非晶硅
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表面光电压法研究抛光硅片制造中铁沾污的来源 被引量:5
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作者 罗俊一 沈益军 +4 位作者 李刚 刘培东 张锦心 包宗明 黄宜平 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2001年第1期70-72,66,共4页
铁杂质是硅片制造过程中常见的重金属沾污 ,表面光电压 (SPV)法可很好地用于测定P型硅中铁杂质。本文通过SPV法测试不同流程制造的P型抛光硅片中的铁沾污 ,找到了在P型抛光硅片制造工艺过程中引入铁沾污的主要来源。
关键词 表面光电压法 铁杂质 抛光硅片 半导体材料
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表面光电压法测定半导体光跃迁类型和带隙参数 被引量:3
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作者 沈(岂页)华 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第3期1-7,共7页
本文用表面光电压法测定了半导体材料的光跃迁类型和带隙参数,推导了有关的计算公式,测定了Ge、Si、GaAs、InP、GaP、AlGaAs,GaAsP等材料的禁带宽度和其他能隙等参数,计算结果与其他方法的测量结果基本一致。
关键词 半导体材料 参数 测定 光电压法
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表面光电压测量P型硅抛光片少子扩散长度及铁杂质含量的研究 被引量:4
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作者 屠海令 朱悟新 +3 位作者 王敬 周旗钢 张椿 孙燕 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期237-241,共5页
表面光电压法近年来在半导体晶片的电学特性研究中发挥了重要作用 .本文简述了该方法的测量原理 ,给出了直径 1 2 5mm硅抛光片少子扩散长度及铁杂质浓度的测量数据 ,讨论了生产工艺对硅抛光片表面质量的影响 .
关键词 表面光电压法 抛光片 少子扩散长度 测量
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用SPV法对影响硅片少于寿命因素的研究 被引量:1
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作者 卢立延 曹孜 杜娟 《世界有色金属》 2003年第12期30-32,共3页
随着IC工业的发展,对硅材料的质量提出了越来越高的要求。硅单晶中的非平衡少数载流子寿命(少子寿命)是一个被关注的表征材料性能的重要物理参数。本文通过表面光电压法(SPV)研究提出单晶工艺、退火前硅片的洁净程度及退火炉的洁净程度... 随着IC工业的发展,对硅材料的质量提出了越来越高的要求。硅单晶中的非平衡少数载流子寿命(少子寿命)是一个被关注的表征材料性能的重要物理参数。本文通过表面光电压法(SPV)研究提出单晶工艺、退火前硅片的洁净程度及退火炉的洁净程度是影响寿命及内部金属沾污的三个重要因素。 展开更多
关键词 硅片 单晶硅 少子寿命 表面光电压法 SPV
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双面抛光单晶硅片少子扩散长度的测量
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作者 杨恒青 张焕林 顾春林 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1992年第1期52-57,共6页
本文改进了常规表面光电压测试少子扩散长度法,采用环形下电极消除了薄样品背面光电压信号对测量结果的影响;应用阻尼最小二乘法数据处理原理对实验数据进行“曲线拟合”,求出少子扩散长度和背面表面复合速度。本文讨论了该方法的测量... 本文改进了常规表面光电压测试少子扩散长度法,采用环形下电极消除了薄样品背面光电压信号对测量结果的影响;应用阻尼最小二乘法数据处理原理对实验数据进行“曲线拟合”,求出少子扩散长度和背面表面复合速度。本文讨论了该方法的测量范围。 展开更多
关键词 测量 光电压法 少子扩散长度 硅片
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光学薄膜参数、测试及设备
8
《中国光学》 EI CAS 1994年第3期74-75,共2页
O484.5 94032127表西光电压法测量 a—Si:H 少子扩散长度的进一步研究=The further study on measuring diffu-sion length of minority carrier in a—Si:Hwith SPV method[刊,中]/张治国(内蒙古师范大学物理系),宿晶厚(北京工业大学... O484.5 94032127表西光电压法测量 a—Si:H 少子扩散长度的进一步研究=The further study on measuring diffu-sion length of minority carrier in a—Si:Hwith SPV method[刊,中]/张治国(内蒙古师范大学物理系),宿晶厚(北京工业大学电子工程系)∥太阳能学报.—1993,14(4). 展开更多
关键词 光学薄膜 光电压法 物理系 反应离子 学术讨论会 太阳能学报 集成光学 电子工程 放大器 同步辐射
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Application of Spatial Filtering Techniques in the Measurement of the Velocity 被引量:1
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作者 LIPing MABaoming 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1998年第1期56-61,共6页
As one of the interesting optical techniques for measurements of the velocity,the spatial filtering method is treated briefly in this paper.We shown theoretical analysis and calculation of spatial filtering velocimetr... As one of the interesting optical techniques for measurements of the velocity,the spatial filtering method is treated briefly in this paper.We shown theoretical analysis and calculation of spatial filtering velocimetry,and discussed two-dimensional measurements of the velocity.About the data processing,we used A/D conversion and interfaced with a microcomputer,so that the data can be processed automatically by the microcomputer.The preliminary experiment was performed and the experimental results show the usefulness of the present method for measurements of the velocity. 展开更多
关键词 MEASUREMENT Spatial Filtering VELOCITY
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Purification of indium by vacuum distillation and its analysis 被引量:3
10
作者 李冬生 戴永年 +2 位作者 杨斌 刘大春 邓勇 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2013年第2期337-341,共5页
High purity (99.999% or 5N, mass fraction) indium (In) was obtained through vacuum distillation using a 2N (99%) In as input material under a dynamic vacuum of 5 Pa. The glow discharge mass spectrometry (GDMS)... High purity (99.999% or 5N, mass fraction) indium (In) was obtained through vacuum distillation using a 2N (99%) In as input material under a dynamic vacuum of 5 Pa. The glow discharge mass spectrometry (GDMS) was applied for the analysis of input material and the distilled indium. The results indicate that high-volatile impurities namely Cd, Zn, T1 and Pb can be removed from the indium matrix at the low fraction stage of 1 223 K for 120 min; Low-volatile impurities such as Fe, Ni, Cu, Sn can be reduced at the high fraction stage of 1 323 K for 120 min. The separation coefficient ,8i and activity coefficient Yi of impurities are calculated according to the experiments to fill the inadequate data of the thermodynamics. 展开更多
关键词 vacuum distillation INDIUM SEPARATION REFINING
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Strain-induced robust magnetic anisotropy and room temperature magnetoelectric coupling effect in epitaxial SmFeO3 film 被引量:3
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作者 Jun Zhang Wuhong Xue +5 位作者 Tiancong Su Huihui Ji Zhi Yan Guowei Zhou Zhiyong Quan Xiaohong Xu 《Science China Materials》 SCIE EI CSCD 2020年第10期2062-2070,共9页
Rare-earth orthoferrite SmFeO3 is an outstanding single-phase multiferroic material,holding great potential in novel low-power electronic devices.Nevertheless,simultaneous magnetic and ferroelectric orders as well as ... Rare-earth orthoferrite SmFeO3 is an outstanding single-phase multiferroic material,holding great potential in novel low-power electronic devices.Nevertheless,simultaneous magnetic and ferroelectric orders as well as magnetoelectric(ME)coupling effect at room temperature(RT)in this system have not been demonstrated yet.In this study,epitaxial SmFeO3 films were successfully prepared onto tensile-strain Nb-SrTiO3(Nb-STO)substrates by a pulsed laser deposition(PLD)method.Measurement results show that the films exhibit obvious ferromagnetic and ferroelectric orders at RT.Meanwhile,the magnetic anisotropy gradually changes from out-of-plane(OP)to in-plane(IP)direction with increasing film thickness,which is attributed to the variations of O 2p-Fe 3d hybridization intensity and Fe 3d-orbit occupancy caused by the strain-relaxed effect.Moreover,electrically driven reversible magnetic switching further proves that the SmFeO3 films exhibit the RT ME coupling effect,suggesting promising applications in new-generation electric-write magnetic-read data storage devices. 展开更多
关键词 SmFeO3 film multiferroicity magnetoelectric coupling magnetic anisotropy
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Electrochemical methods for the characterization and interfacial study of dye-sensitized solar cell 被引量:1
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作者 郑大江 叶美丹 +2 位作者 温晓茹 张囡 林昌健 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期850-863,M0003,I0008,共16页
Dye-sensitized solar cell (DSSC) is one of the most rapidly developed solar cells in the past 20 years. Many characterization methods have been employed for further understanding the operational details of the photo... Dye-sensitized solar cell (DSSC) is one of the most rapidly developed solar cells in the past 20 years. Many characterization methods have been employed for further understanding the operational details of the photo- electric conversion in DSSC as well as the evaluation of cell performance. Electrochemical methods have become pow- erful tools for studying the charge transfer and interfacial process. In this review, we introduce and explain the various electrochemical methods used to characterize and analyze DSSC, including current-voltage (I-V) scan measurement, cyclic voltammetry, electrochemical impedance spec- troscopy, intensity-modulated photocurrent spectroscopy, and intensity-modulated photovoltage spectroscopy. In ad- dition, some applications were provided as samples to elucidate electron transfer kinetics, energy levels and electrocatalytic activity of the materials used in DSSC. 展开更多
关键词 Electrochemical methods Dye-sensitized solar cells Characterization Performance - Mechanism
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Advances and New Applications Using the Acousto-Optic Effect in Optical Fibers 被引量:1
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作者 Alexandre A. P. POHL Roberson A. OLIVEIRA +5 位作者 Ricardo E. DA SILVA Carlos A. F. MARQUES Paulo de Tarso NEVES JR. Kevin COOK John CANNING Rogério N. NOGUEIRA3 《Photonic Sensors》 SCIE EI CAS 2013年第1期1-25,共25页
This work presents a short review of the current research on the acousto-optic mechanism applied to optical fibers. The role of the piezoelectric element and the acousto-optic modulator in the excitation of flexural a... This work presents a short review of the current research on the acousto-optic mechanism applied to optical fibers. The role of the piezoelectric element and the acousto-optic modulator in the excitation of flexural and longitudinal acoustic modes in the frequency range up to 1.2 MHz is highlighted. A combination of the finite elements and the transfer matrix methods is used to simulate the interaction of the waves with Bragg and long period gratings. Results show a very good agreement with experimental data. Recent applications such as the writing of gratings under the acoustic excitation and a novel viscometer sensor based on the acousto-optic mechanism are discussed. 展开更多
关键词 ACOUSTO-OPTICS fiber gratings optical fibers optical sensors
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