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Study on Photocapacitance in PN Junction of High Resistivity P-type Silicon
1
作者 CHEN Jie (Hangzhou Institute of Appl. Eng. Tech.,Hangzhou 310012,CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1998年第3期193-195,共3页
１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＷｉｔｈｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｐｕｒｉｆｉｃａｔｉｏｎａｎｄｇｒｏｗｔｈｏｆｓｉｌｉｃｏｎｍａｔｅｒｉａｌ，ｅｓｐｅｃｉａｌｙ，ｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｈｉｇｈｌｙｐｕｒｅ... １ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＷｉｔｈｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｐｕｒｉｆｉｃａｔｉｏｎａｎｄｇｒｏｗｔｈｏｆｓｉｌｉｃｏｎｍａｔｅｒｉａｌ，ｅｓｐｅｃｉａｌｙ，ｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｈｉｇｈｌｙｐｕｒｅＳｉＨ４，ｔｈｅｐｕｒｉｔｙｏｆｈ... 展开更多
关键词 光电容量 发光二极管 PN结 半导体光电设备 半导体硅
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