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光盘表面结构的软模板复制及图案化氧化锌薄膜的纳米压印制备 被引量：1
1
作者 丁万勇 戴树玺 +3 位作者 王洋 王广君 张兴堂 杜祖亮 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第14期1097-1102,共6页
模板的制备和选择在纳米压印技术中非常重要.采用廉价的光盘为模板,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)浇铸到光盘表面,分离后复制得到光盘的负形结构.采用纳米压印技术,以PDMS软模板作为印章对氧化锌纳米溶胶进行直接压印,实现了氧化锌薄膜的表... 模板的制备和选择在纳米压印技术中非常重要.采用廉价的光盘为模板,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)浇铸到光盘表面,分离后复制得到光盘的负形结构.采用纳米压印技术,以PDMS软模板作为印章对氧化锌纳米溶胶进行直接压印,实现了氧化锌薄膜的表面图案化,经煅烧后得到晶态氧化锌薄膜. 展开更多
关键词 光盘聚二甲基硅氧烷氧化锌溶胶纳米压印表面图案化
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