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光盘表面结构的软模板复制及图案化氧化锌薄膜的纳米压印制备
被引量:
1
1
作者
丁万勇
戴树玺
+3 位作者
王洋
王广君
张兴堂
杜祖亮
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第14期1097-1102,共6页
模板的制备和选择在纳米压印技术中非常重要.采用廉价的光盘为模板,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)浇铸到光盘表面,分离后复制得到光盘的负形结构.采用纳米压印技术,以PDMS软模板作为印章对氧化锌纳米溶胶进行直接压印,实现了氧化锌薄膜的表...
模板的制备和选择在纳米压印技术中非常重要.采用廉价的光盘为模板,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)浇铸到光盘表面,分离后复制得到光盘的负形结构.采用纳米压印技术,以PDMS软模板作为印章对氧化锌纳米溶胶进行直接压印,实现了氧化锌薄膜的表面图案化,经煅烧后得到晶态氧化锌薄膜.
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关键词
光盘聚二甲基硅氧烷氧化锌溶胶纳米压印表面图案化
原文传递
题名
光盘表面结构的软模板复制及图案化氧化锌薄膜的纳米压印制备
被引量:
1
1
作者
丁万勇
戴树玺
王洋
王广君
张兴堂
杜祖亮
机构
河南大学特种功能材料教育部重点实验室
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第14期1097-1102,共6页
基金
国家自然科学基金(20903034
10874040)
教育部科技创新工程重大项目培育基金(708062)资助项目
文摘
模板的制备和选择在纳米压印技术中非常重要.采用廉价的光盘为模板,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)浇铸到光盘表面,分离后复制得到光盘的负形结构.采用纳米压印技术,以PDMS软模板作为印章对氧化锌纳米溶胶进行直接压印,实现了氧化锌薄膜的表面图案化,经煅烧后得到晶态氧化锌薄膜.
关键词
光盘聚二甲基硅氧烷氧化锌溶胶纳米压印表面图案化
Keywords
compact disk, polydimethylsiloxane, zinc oxide sol, surface patterning, nanoimprint lithography
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TP333.4 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光盘表面结构的软模板复制及图案化氧化锌薄膜的纳米压印制备
丁万勇
戴树玺
王洋
王广君
张兴堂
杜祖亮
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
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