相移干涉显微镜的研制和光盘预刻槽形的测量

作者对原有的Ｍｉｒａｕ型相移干涉显微镜的干涉仪布局、参考板结构和位相探测技术中的有关算法作了改进，从而成功地将其运用于光盘预刻槽形的测量。文中对新采用的光路布局、参考板制作方法、干涉图预处理技术以及光强轮廓线定位法都作了详细论述，并给出了光盘预刻槽形的测量结果。