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基于光纤低相干干涉技术的透镜中心厚度测量方法研究 被引量:8
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作者 刘富国 查学军 +3 位作者 杨波 高文烨 郑浩 钟平 《应用激光》 CSCD 北大核心 2016年第5期605-610,共6页
基于光纤低相干干涉技术的测厚原理,提出了透镜中心厚度检测系统的结构设计;分析了影响检测仪器检测精度的主要因素,并分别从光路、电路设计及信号处理等方面,提出了提高检测系统检测精度的方法;同时将K-means聚类算法应用于多组干涉信... 基于光纤低相干干涉技术的测厚原理,提出了透镜中心厚度检测系统的结构设计;分析了影响检测仪器检测精度的主要因素,并分别从光路、电路设计及信号处理等方面,提出了提高检测系统检测精度的方法;同时将K-means聚类算法应用于多组干涉信号峰值识别和提取,有效提高了系统测量的重复精度。所设计的系统具有结构简单、测量速度快等特点,测量精度优于1μm。 展开更多
关键词 光纤低相干干涉 透镜中心厚度 K-MEANS聚类 信号峰值
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Liquid-level Measurement with Fiber-optic Low Coherence Interferometer: Micrometer-resolution Approach
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作者 YANG Yan-fang SUN Yu-xing SUN Chang-sen 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2007年第2期108-111,共4页
According to the fact that the surface of liquid with low viscosity coefficient is a good reflection plane for a broadband light beam, liquid-level measurement in micrometer resolution is designed based on a fiber-opt... According to the fact that the surface of liquid with low viscosity coefficient is a good reflection plane for a broadband light beam, liquid-level measurement in micrometer resolution is designed based on a fiber-optic low coherence interferometer in Michelson configuration. The wave front of the reflected light beam is well enough to form an interferogram with a beam reflected from an optic mirror mounted on a stepping scanning-motor. The central peak of the interferogram is read as a measure of the liquid level. Experimental results show that this noncontact method can reach a resolution of ±1.25 μm in the measurement range of 86 mm. 展开更多
关键词 liquid-level white-light interferometer micrometer-resolution
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