六轴运动平台几何误差与阵列光纤对准精度的映射关系

针对光缆中阵列光纤与波导芯片精准对接问题,运用光电子封装系统六轴精密运动平台,研究了控制阵列光纤的位姿及对准精度.依据齐次坐标矩阵的几何误差模型,采用方差敏感性分析方法,辨识得出影响对准精度的重要误差项;分析了运动平台的搭建结构,探讨了运动平台几何误差与光纤对准精度的映射规律.实验结果表明,该方法可靠、有效,可为提高光纤封装效率与对准效率提供参考.