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题名光通信用光纤端面截止滤光膜的研制
被引量:6
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作者
高晓丹
魏纯
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机构
武汉东湖学院电子信息工程学院
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期314-316,共3页
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文摘
为了满足光通信中对光纤端面镀多层膜的特殊需求,分析了光纤端面镀制截止滤光膜所存在的难点问题,利用TFCalc薄膜设计软件,采用解析法设计了一个初始膜系,再结合梯度优化法对初始膜系进行优化处理,成功设计出具有较好光谱性能的光纤端面截止滤光膜的膜系,并对德国莱宝APS1104型镀膜机进行了内部结构和镀制工艺的改进,最终采用离子源辅助沉积进行低温镀制,获得了性能优良的光纤端面截止滤光膜。结果表明,在光纤端面镀制多层的截止滤光膜,虽然存在很多困难,但选择合适的膜系和镀制工艺,依然能获得符合实际要求的滤光膜。
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关键词
薄膜
光纤截止滤光膜
优化设计
离子辅助沉积
镀制工艺
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Keywords
thin films
fiber interference edge filter film
optimization design
ion assistant deposition
depositiontechnology
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分类号
O484.4
[理学—固体物理]
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