飞秒激光加工的微型光纤法布里-珀罗干涉传感器

介绍了一种利用波长为800nm的飞秒激光脉冲在普通单模光纤（SMF）上刻蚀出微型光纤法布里一珀罗干涉（MEFPI）传感器的方法。该方法通过计算机控制就可以进行任意腔长的微型光纤法布里一珀罗干涉传感器的制作。实验研究了光纤法布里一珀罗传感器的应变和温度特性，结果表明，在0～350με的应变范围内，干涉条纹波长相对于应变的灵敏度为0．006nm／με，线性度达99．69％；在20～100℃的温度范围内，该光纤法布里一珀罗传感器具有较小的负温度特性，干涉条纹往短波方向漂移了0．15nm。作为全光纤传感器件，该类型传感器重复性高，成本低廉，易于批量加工，在光传感领域具有较大的潜在应用价值。