光纤频谱仪测试膜厚的新技术研究

在“Y”型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的玻璃片 ,入射光在薄膜层的上下表面处两次反射 ,由于光程差的存在 ,反射光会发生干涉。不需要测量干涉条纹 ,根据 Fresnel反射定律 ,仅通过对反射光谱的分析计算 ,可以测出薄膜的厚度以及折射率。该方法测量精度高、速度快、对薄膜无破坏作用。膜厚测量范围为 0 .5至几十微米 ,测量误差小于 7nm。