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光罩清洗的流程以及优化
1
作者
肖林峰
《科技创新导报》
2016年第36期91-92,共2页
光罩清洗的流程以及优化,需要在实际生产运用中来完善,要保证在不影响清洗能力的情况下来优化各个工艺参数,在各种工艺清洗时的时间和MASK Stage的转速来缩短清洗光罩的时间,而这个参数需要在不断地实验中完善。该文针对目前液晶面板在...
光罩清洗的流程以及优化,需要在实际生产运用中来完善,要保证在不影响清洗能力的情况下来优化各个工艺参数,在各种工艺清洗时的时间和MASK Stage的转速来缩短清洗光罩的时间,而这个参数需要在不断地实验中完善。该文针对目前液晶面板在正常生产的过程中光罩(MASK)日常清洗的流程及工艺,介绍了目前光罩清洗机中使用的几种主要的清洗工艺,清洗光罩时需根据不同原因来选择所需要的工艺来清洗,以及对清洗工艺的优化。
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关键词
光罩
光罩清洗机
曝光
机
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职称材料
题名
光罩清洗的流程以及优化
1
作者
肖林峰
机构
中电熊猫液晶材料科技有限公司制造部
出处
《科技创新导报》
2016年第36期91-92,共2页
文摘
光罩清洗的流程以及优化,需要在实际生产运用中来完善,要保证在不影响清洗能力的情况下来优化各个工艺参数,在各种工艺清洗时的时间和MASK Stage的转速来缩短清洗光罩的时间,而这个参数需要在不断地实验中完善。该文针对目前液晶面板在正常生产的过程中光罩(MASK)日常清洗的流程及工艺,介绍了目前光罩清洗机中使用的几种主要的清洗工艺,清洗光罩时需根据不同原因来选择所需要的工艺来清洗,以及对清洗工艺的优化。
关键词
光罩
光罩清洗机
曝光
机
分类号
TB490 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光罩清洗的流程以及优化
肖林峰
《科技创新导报》
2016
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