不同扩散工艺对发黑硅片的影响

主要研究电池片生产过程中不同扩散工艺、扩散温度,以及扩散方式对发黑单晶硅片产生的影响,使用光致发光测试仪测试发黑单晶硅片经过不同的扩散工艺、扩散温度、扩散方式后的PL图。结果表明,电池片生产工艺中一定的扩散工艺会使硅片中的发黑情况消失。