TiZrV吸气剂薄膜的性能研究

采用独立设计组装的磁控溅射装置完成了对不锈钢管道的镀TiZrV薄膜处理。对TiZrV薄膜的相关性能包括二次电子产额(SEY)、光致解吸(PSD)产额和吸气性能进行了研究。在200℃下加热2h后TiZrV的SEY有所下降,峰值由2.03降到1.55。不锈钢真空室在镀TiZrV薄膜处理后其PSD效应显著降低,在200℃下加热24h后,各气体的PSD产额与初始值相比可降低两个量级左右。TiZrV薄膜对CO和H2有较好的吸气效果,相同激活条件下对CO的抽速比H2高一个量级,吸气容量则较之低两个量级;另外,随着加热温度的提高和时间的延长,其吸气能力会有所提高。

非蒸散型吸气剂对混合气体的抽气行为研究

NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体。测试了SEAS公司的NEG组件ST70 7WP 1 2 5 0对由 80 %H2 和 2 0 %CO组成的混合气体的抽气性能 ,并和抽纯气性能进行了比较。混合气体中的NEG对H2 的抽速受CO影响 ,随H2 吸气量的增加而明显下降。混合气体中的NEG对CO的抽速不受H2 影响。

Photon Stimulated Desorption Studies on Stainless Steel Material with and without TiN Film Coating

PSD yield is a key criterion to evaluate the vacuum chamber material and its surface pretreatment in an electron storage ring.In this paper,a stainless steel vacuum chamber of 1500 mm in diameter has been tested before and after TiN film coating on PSD experiment station of Machine Study Beamline of NSRL.Test results show that TiN film coating is an effective method to reduce photon stimulated desorption for the stainless steel material.