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基于光谱型白光干涉仪的绝对距离测试研究
1
作者
薛晖
倪肖勇
+3 位作者
沈伟东
章岳光
刘旭
顾培夫
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期393-397,共5页
采用微型光纤光谱仪记录宽波段(450~900nm)下的光谱干涉图,提出一种解包络线的方法来提取相位主值,同时由总光程差与棱镜折射率成正比的关系进行相位解包裹.由线性关系的斜率和截距分别求解得到棱镜的等效厚度和两参考镜之间的绝对距离...
采用微型光纤光谱仪记录宽波段(450~900nm)下的光谱干涉图,提出一种解包络线的方法来提取相位主值,同时由总光程差与棱镜折射率成正比的关系进行相位解包裹.由线性关系的斜率和截距分别求解得到棱镜的等效厚度和两参考镜之间的绝对距离.利用该方法测试了参考镜在不同位置处的距离,结果与千分尺数值之间的偏差小于1%,同时获得了99.9%的线性度.还测试了BK7玻璃的厚度,与其他方法相比,其精度达0.21%.分析了影响测试精度的因素,并对测距范围进行了讨论.
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关键词
干涉
计量
光谱白光干涉仪
测距
相位解包裹
光纤
光谱
仪
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职称材料
题名
基于光谱型白光干涉仪的绝对距离测试研究
1
作者
薛晖
倪肖勇
沈伟东
章岳光
刘旭
顾培夫
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期393-397,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60708013)
中国博士后科学基金资助项目(20081463)
文摘
采用微型光纤光谱仪记录宽波段(450~900nm)下的光谱干涉图,提出一种解包络线的方法来提取相位主值,同时由总光程差与棱镜折射率成正比的关系进行相位解包裹.由线性关系的斜率和截距分别求解得到棱镜的等效厚度和两参考镜之间的绝对距离.利用该方法测试了参考镜在不同位置处的距离,结果与千分尺数值之间的偏差小于1%,同时获得了99.9%的线性度.还测试了BK7玻璃的厚度,与其他方法相比,其精度达0.21%.分析了影响测试精度的因素,并对测距范围进行了讨论.
关键词
干涉
计量
光谱白光干涉仪
测距
相位解包裹
光纤
光谱
仪
Keywords
interferometry
spectral domain white-light interferometer
distance measurement
unwrapped phase
fiber-optic spectrometer
分类号
TH741.13 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于光谱型白光干涉仪的绝对距离测试研究
薛晖
倪肖勇
沈伟东
章岳光
刘旭
顾培夫
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
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