TB851 95031977多功能全息透镜用于测量类镜表面的平整度=Mea-suring the smoothhess of the mirror-likesurface by holographic lens[刊,中]/王仕瑶,崔景翠(电子科技大学应用物理系.四川,成都(610054))∥光电工程.—1994,21(2).—43...TB851 95031977多功能全息透镜用于测量类镜表面的平整度=Mea-suring the smoothhess of the mirror-likesurface by holographic lens[刊,中]/王仕瑶,崔景翠(电子科技大学应用物理系.四川,成都(610054))∥光电工程.—1994,21(2).—43—48基于自聚焦误差检测和光路可逆原理,实验证明了利用一种多功能全息透镜来测量类镜表面平整度的可行性.实验结果表明其测量精度可达微米量级.展开更多
文摘TB851 95031977多功能全息透镜用于测量类镜表面的平整度=Mea-suring the smoothhess of the mirror-likesurface by holographic lens[刊,中]/王仕瑶,崔景翠(电子科技大学应用物理系.四川,成都(610054))∥光电工程.—1994,21(2).—43—48基于自聚焦误差检测和光路可逆原理,实验证明了利用一种多功能全息透镜来测量类镜表面平整度的可行性.实验结果表明其测量精度可达微米量级.