Fourier变换轮廓术中对测量系统的基本要求

本文讨论在正交光轴测量系统中避免阴影和频谱混叠并保证测量精度的方法；采用减小成像光轴和投影光轴之间的夹角的方法避免阴影；增加投影到被测物体上的条纹数，同时提高ＣＣＤ的分辨率以保证条纹的富里叶谱的基频从其他的频率分量中分离出来，从而提高ＦＴＰ的测量精度。