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题名FDTD等效入射波法分析PSTM
被引量:8
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作者
简国树
王景芝
王晓秋
吴世法
潘石
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机构
大连理工大学物理系
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期226-228,共3页
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文摘
本文提出一种简捷有效的方法 ,即等效入射波法分析光子扫描隧道显微镜 (PSTM)。作为验证 ,计算了 3维情况下 ,形貌起伏样品和嵌埋的不同折射率样品 ,S和P极化情况下 ,等高扫描面上的场分布的PSTM图像 ,并与其他方法进行比较。比较表明 ,时域有限差分法 (FDTD)等效入射波法与其他方法已有的结果符合相当好 ,并具有简捷 ,降低对吸收边界的要求 。
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关键词
时域有限差分法
FDTD
入射波法
PSTM
光子扫描隧道显微镜
吸收边界
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Keywords
PSTM
numerical simulation
equivalent incident wave method
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
O766
[理学—晶体学]
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