半导体激光器腔面全介质涂层的研究

通过对ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ激光器谐振腔前、后腔面蒸镀２ｒＯ＿２和ＺｒＯ＿２、ＭｇＦ＿２的工艺过程，从理论和实验上分析涂层特性，透射率、反射率分别由无膜时的６８％、３２％，镀膜后提高到９４％、９５．０％以上，提高了激光输出功率和工作寿命，保护了器件端面。