基于光纤微机电系统的纳米级测量技术

纳米技术作为当前发展最迅速、涉及范围最广的科学技术之一，被誉为21世纪的科技新星，对工业技术革新、产业升级具有十分重要的意义。随着技术的飞速发展，纳米技术涉及的范围也越来越广。目前，纳米科学与技术这一学科可大致划分为6部分：纳米物理学、纳米化学、纳米生物学、纳米电子学、纳米机械学和纳米测量学。