全反射式无焦ZH系统的装调

介绍了一种新颖的共轴全反射式无焦光学系统—ZH系统的装调技术。该系统由两块相对放置的抛物面反射镜和一块45°放置的双面反射镜组成,其两抛物面反射镜可分别从两端安装,从而使双向平面反射镜易于装配。对ZH系统进行了误差分析和装调分析,讨论了元件位置失调带来的系统像差的变化,给出了ZH系统的误差分析结果。由于光线经过ZH系统和分束镜后,光轴在水平方向和垂直方向有平移,平移后的出射光轴与入射光轴的平行需要精确的装调技术来保证。给出了ZH系统的装调方法,采用可见光平行光管进行辅助装调,采用水平偏移补偿镜和垂直偏移补偿镜对ZH系统出射光轴的偏移量进行补偿,利用测微组件和测微目镜对装调中平晶、反射镜的调节量进行测量,实现了ZH系统出射光轴与入射光轴的同轴。装调完成后,去掉水平偏移补偿镜和垂直偏移补偿镜,实现了ZH系统光轴的空间平行。