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双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究 被引量:4
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作者 蒋相站 刘永新 +2 位作者 毕振华 陆文琪 王友年 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期276-282,共7页
利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的... 利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的放电参数,利用改进的二维流体模型进行理论模拟,得到了不同极板问距下径向离子密度分布,并和实验测量结果进行了比较,两者的变化趋势基本符合. 展开更多
关键词 频容性耦合等离子体 径向均匀性 全悬浮双探针 二维流体模型
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