期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究
被引量:
4
1
作者
蒋相站
刘永新
+2 位作者
毕振华
陆文琪
王友年
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期276-282,共7页
利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的...
利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的放电参数,利用改进的二维流体模型进行理论模拟,得到了不同极板问距下径向离子密度分布,并和实验测量结果进行了比较,两者的变化趋势基本符合.
展开更多
关键词
双
频容性耦合等离子体
径向均匀性
全悬浮双探针
二维流体模型
原文传递
题名
双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究
被引量:
4
1
作者
蒋相站
刘永新
毕振华
陆文琪
王友年
机构
大连理工大学物理与光电工程学院
新疆工业高等专科学校
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期276-282,共7页
基金
国家自然科学基金重点项目(批准号:10635010)资助的课题~~
文摘
利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的放电参数,利用改进的二维流体模型进行理论模拟,得到了不同极板问距下径向离子密度分布,并和实验测量结果进行了比较,两者的变化趋势基本符合.
关键词
双
频容性耦合等离子体
径向均匀性
全悬浮双探针
二维流体模型
Keywords
dual frequency capacitively coupled plasma
radial uniformity
complete floating double probe
improved 2D fluid simulations
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
O539 [理学—等离子体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究
蒋相站
刘永新
毕振华
陆文琪
王友年
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
4
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部