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题名全自动上芯机的晶片检测系统
被引量:3
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作者
廖广军
胡跃明
戚其丰
张浩
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机构
华南理工大学自动化科学与工程学院
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出处
《计算机工程与应用》
CSCD
北大核心
2006年第4期102-104,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(编号:60374016)
广东省重大装备创新技术招标项目(编号:0612A2003040/6)
+2 种基金
广东省粤港关键领域重点突破项目(编号:20041A01)
广东省科技厅重大科技攻关专项(编号:2004A10403001)
广州市重点科技攻关计划项目(编号:2003Z2-D9011)
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文摘
全自动上芯机是用于芯片生产后工序的关键设备之一,IC检测系统是其核心技术。晶片检测系统主要构件包括光源,CCD,图像采集卡等硬件设施,以及专用的芯片处理检测算法。文章详细介绍了基于图像处理的晶片专用检测系统的搭建,分析了图像检测要求,提出了相应的检测算法。系统地完成图像采集、图像预处理、芯片定位、芯片检测等多个功能。
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关键词
全自动上芯机
图像预处理
晶片检测
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Keywords
Automatic Die Bonding Machine,image preprocessing,wafer quality detection
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分类号
TP39
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名IC检测的图像预处理及芯片定位
被引量:7
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作者
戚其丰
廖广军
胡跃明
张浩
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机构
华南理工大学自动化科学与工程学院
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出处
《计算机测量与控制》
CSCD
2005年第12期1315-1317,共3页
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基金
国家自然科学基金(60374016)
广东省重大装备创新技术招标项目(0612A2003040/6)
+2 种基金
广东省粤港关键领域重点突破项目(20041A01)
广东省科技厅重大科技攻关专项(2004A10403001)
广州市重点科技攻关计划项目(2003Z2-D9011)
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文摘
全自动上芯机是用于芯片生产后工序的关键设备之一,机器视觉伺服系统是提高该设备产能和质量的关键系统,而图像预处理和芯片定位是其机器视觉的关键技术之一。为了消除采集图像与真实图像之间的差异,实现芯片精确定位,采用中值滤波算法和直方图算法实现图像的去噪和增强,并分析了图像相似性测量算法实现快速模板匹配。实验结果证明了算法的有效性和可靠性,为进一步提高芯片缺陷检测的精度提供了保障.
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关键词
全自动上芯机
图像预处理
芯片定位
图像相似性测鞋法
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Keywords
automatic die bonding maehine
image preproeessing
chip positioning
image proximity measure algorithm
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分类号
TP23
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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