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全自动晶圆划片机软件系统的设计与实现
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作者 刘婷婷 赵志伟 +1 位作者 李战伟 闫启亮 《电子工业专用设备》 2012年第6期4-6,14,共4页
介绍了全自动晶圆划片机设备软件系统的设计与实现。根据设备自动化程度高,功能模块多、复用性强、耦合性强且复杂的特点,将软件系统按照层次化、模块化设计,并提出"二次封装"、界面脱离运动逻辑功能的思想。
关键词 全自动晶圆划片机 软件控制系统 二次封装 运动逻辑
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