面阵CCD探测的全自动椭圆偏振光谱系统研究

给出了一种椭圆偏振光谱的快速测量方法 ,并使得实验系统的结构更为紧凑和小型化 ,减轻了重量 .研究中采用了由面阵型CCD探测器和平面多光栅组成的光谱仪 ,无需光栅扫描 ,就能够在很短时间内对光谱进行快速准确的数字凝视式成像 ,光谱分辨精度优于 1.0nm ,显著提高了系统工作的可靠性和效率 .系统采取了将CCD光谱仪后置的方式 ,研究并解决了从物理光学原理、器件设计和加工、系统调试和定标、软件编制以及到光谱测量和数据分析等一系列问题 .实验中对典型贵金属Au的光学常数谱进行了测量 ,获得了满意的结果 .

光谱仪器

TH744.1 2004010089 面阵CCD探测的全自动椭圆偏振光谱系统研究=Studyof a auto ellipsometer system by using a two-dimensionalCCD array detector[刊,中]/游海洋(复旦大学光科学与工程系,先进光子学材料和器件国家重点实验室.上海(200433)),贾建虎…∥红外与毫米波学报.—2003。