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Maxμm Ultra全自动金丝键合机关键技术分析与维修维护 被引量：1
1
作者 李双江 贺从勇 陶怀亮 《机电信息》 2022年第13期66-69,共4页
金丝键合机是一种高精密的半导体封装设备,现结合多年的金丝键合设备管理与维修经验,对美国K&S公司的Maxμm Ultra全自动金丝键合机工作原理、结构、维护和维修进行简单介绍。
关键词 全自动金丝键合机 音圈电机 维护 维修
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