八氟环戊烯的合成与应用研究进展

八氟环戊烯是一种不饱和全氟烯烃,消耗臭氧潜能值(ODP)为0,全球增温潜能值(GWP_(100))为78.1,大气寿命为1.1年。作为一种新型的全氟化学品,主要用于半导体的刻蚀气与清洗剂,同时也被视为制备有机光致变色材料的关键含氟砌块。八氟环戊烯由于其优异的环境性能和工作性能,在集成电路等领域受到越来越多的关注,因此具有巨大的潜在市场需求和良好的发展前景。本文介绍八氟环戊烯的合成研究进展,并阐述了其在电子气领域的应用研究情况,以期为八氟环戊烯的未来研究提供参考。

八氟环戊烯制备与纯化技术研究进展

八氟环戊烯性质稳定,可用于合成有机光致变色材料和电子材料,也可作为刻蚀剂与清洗剂应用于半导体制造过程中。目前工业上成熟的八氟环戊烯合成路线为环戊烯或环戊烯的氟氯化合物与碱金属氟化物反应,纯化路线为精馏、吸附或膜分离等方法及各方法的耦合。重点对八氟环戊烯的制备与纯化技术进行了总结,简述了八氟环戊烯的应用。

八氟环戊烯的制备

介绍了一种新型含氟化学品八氟环戊烯的性质、制备方法。

新型含氟电子气体八氟环戊烯的合成方法及应用

介绍了八氟环戊烯的性质、合成方法及应用。八氟环戊烯是一种新型的含氟化学品,主要应用于半导体的蚀刻与清洗,可参与制备有机光致变色材料。其主要是以环戊烯的氟氯化物为原料,经过多步氟化反应制得。建议采用一步气相氯氟化法制备八氟环戊烯,重点在于深入研究气相氯氟化催化剂。

含氟五元环化合物的合成研究进展

含氟五元环化合物是一类环境友好型HFCs化合物,目前已应用于刻蚀、清洗、高分子材料等领域。对几种含氟五元环化合物的性质及合成方法进行了综述。以氯化环烯或全卤代环共轭二烯为原料,通过氯氟化反应、加氢反应和加氢还原反应,可获得一系列含氟五元环化合物。