一款基于MEMS工艺的超宽带八边形缝隙柔性天线

设计了一款小型超宽带(UWB)共面波导(CPW)馈电的八边形缝隙柔性天线,可应用于超宽带无线通信系统。该天线采用了新兴柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为介质基板,并在PDMS介质基板的一侧单面覆铜,设计了八边形辐射单元结构和具有八边形缝隙的金属地。为降低工艺难度、简化工艺流程,采用了共面波导进行馈电,并设计了具有阻抗线性渐变功能的梯形结构的信号导带。利用电磁仿真软件对天线进行仿真优化,基于微电子机械系统(MEMS)工艺对天线进行加工制作,并进行了测试。结果表明,所设计的天线带宽达到了11.40 GHz(3.10~14.50 GHz),阻抗相对带宽约为130%,频带内电压驻波比小于2,阻抗匹配良好。测试结果与仿真结果基本一致,天线实现了超宽带工作性能。