ZnO肖特基势垒紫外探测器

以p Si(111)为衬底,用水热法首次制得六棱微管ZnO。并以此为有源区利用平面磁控溅射技术沉积得到Ag叉指状电极,从而制作了Ag/n ZnO肖特基势垒结紫外探测器。对该紫外光探测器的暗电流和 365nm波长光照下的光电流、光响应和量子效率进行了测试。测试结果表明:Ag和ZnO六棱管间已形成肖特基接触,其有效势垒高度为 0. 35eV。无光照时,暗电流很小,当用λ=365nm的光照射Ag/n ZnO肖特基结时,在 5, 9V偏压时,光生电流分别为 25. 6, 57. 9μA。Ag/n ZnO紫外探测器有明显的光响应特性和较高的量子效率,在 366nm波长处,光响应度达到最大值 0. 161A/W,量子效率为 54. 7%。