超光滑表面粗糙度的偏振干涉测量系统

本文分析了一种新颖的用于超光滑表面粗糙度测量的系统。该系统的关键之处是利用一个双折射石英透镜作分光镜,以散焦光束在被测表面上所对应的光斑区域内的平均轮廓高度作基准。这种测量系统对被测表面高度变化的灵敏度好于0.1nm,水平方向具有1μm的分辨率。本文还将该仪器与机械触针式轮廓仪的测量结果进行了比较。

采用共光路干涉法测量液晶空间光调制器的相位调制特性

提出一种基于液晶偏振分光的共光路干涉测量方法来测量液晶空间光调制器(LCSLM)的相位调制特性。线偏振入射光束被LCSLM分为两束正交线偏振光,然后沿相同方向传播至渥拉斯顿棱镜(WP);经WP出射的两光束产生横向剪切,同时,WP也将会在两光束之间引入倾斜调制,从而当它们再经过检偏器后产生载频干涉条纹。用傅里叶变换法计算两帧干涉条纹之间的相对相移量。给出了透射式LCSLM相位调制特性的实验测量结果。该方法对振动、空气扰动不敏感,能够测量得到LCSLM的整体相位调制特性,结果更加精确、科学。

新型超光滑表面粗糙度测量系统

本文介绍了一种新型的测量超光滑表面粗糙度的共光路偏振干涉系统。该系统以双折射透镜作为分光元件;采用偏振干涉方法和偏振接收方法对被测光学表面高度变化,实现高灵敏度、非接触探测,垂直分辨率为0.1nm。给出了系统结构,叙述了测量原理。

采用整体最小二乘法的条纹图配准方法

针对共光路菲索型动态干涉仪采集到的4幅条纹图的空间一致性问题,本文提出一种新的条纹图配准思路,将条纹图与图像配准在关联度上人为分开,搭建了专用的图像配准装置,避免将条纹与十字丝标志点混在一幅图像内而影响干涉仪的测量精度。首先通过本文搭建的条纹图配准装置对4台CMOS相机进行物理配准,然后利用整体最小二乘法对采集到的同一十字丝刻划板图像进行十字丝提取、交点计算以及旋转量计算,实现共光路菲索型动态干涉仪条纹图像的点点对应。最后通过试验对比验证,证明了本文算法的配准精度优于模板重心法的配准结果,互相关度达到96%以上。