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Er^(3+)-Yb^(3+)共掺磷酸盐玻璃平面波导 被引量:6
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作者 陈海燕 刘永智 +2 位作者 戴基智 官周国 甘小勇 《应用光学》 CAS CSCD 2003年第5期39-41,共3页
 研制一种新型的Er3+ Yb3+共掺磷酸盐激光玻璃材料,在其上用离子交换方法进行平面光波导制作研究。实验表明,该玻璃在AgNO3+KNO3+NaNO3混合熔盐中具有良好的化学稳定性,为平面光波导放大器的制作提供了实验依据。
关键词 Er^3+-Yb^3+掺磷酸盐玻璃 平面波 光波 离子交换 平面光波放大器
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微机械微波共平面波导特性阻抗的有限元法分析 被引量:3
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作者 石艳玲 于丹丹 +1 位作者 董兴其 赖宗声 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第12期113-115,共3页
本文在相似剖分有限元法的基础上 ,结合微机械微波共平面波导的结构特点 ,提出了混合相似剖分有限元技术并应用于微机械微波共平面波导特性阻抗的数值计算 ,分析了其特性阻抗及其随参数的变化 ,并给出常用35Ω、5 0Ω、75Ω、12 0Ω波... 本文在相似剖分有限元法的基础上 ,结合微机械微波共平面波导的结构特点 ,提出了混合相似剖分有限元技术并应用于微机械微波共平面波导特性阻抗的数值计算 ,分析了其特性阻抗及其随参数的变化 ,并给出常用35Ω、5 0Ω、75Ω、12 0Ω波导的具体设计尺寸 . 展开更多
关键词 微机械平面波 特性阻抗 有限元 微波波
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低阻硅衬底上形成的低损耗共平面波导传输线 被引量:1
3
作者 葛羽屏 郭方敏 +6 位作者 王伟明 徐欣 游淑珍 邵丽 于绍欣 朱自强 陆卫 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期357-359,共3页
在厚膜多孔硅 (PS) /氧化多孔硅 (OPS)衬底上 ,结合聚酰亚胺涂层改善表面 ,研制低损耗、高性能射频 (RF) /微波 (MW)共平面波导CPW(CoplanarWaveguide) .通过在N和P型硅上形成不同厚度PS膜 ,并对其上的CPW进行分析比较 ,厚膜PS与石英的... 在厚膜多孔硅 (PS) /氧化多孔硅 (OPS)衬底上 ,结合聚酰亚胺涂层改善表面 ,研制低损耗、高性能射频 (RF) /微波 (MW)共平面波导CPW(CoplanarWaveguide) .通过在N和P型硅上形成不同厚度PS膜 ,并对其上的CPW进行分析比较 ,厚膜PS与石英的共面波导插入损耗非常接近 ,远小于在 2 0 0 0Ω·cm高阻硅上形成的多晶硅 -氧化硅组合衬底 :在 0 33GHz范围 ,插入损耗小于 5dB/ 1.2cm ;33 4 0GHz范围 ,小于 7.5dB/ 1.2cm . 展开更多
关键词 平面波 硅衬底 厚膜 插入损耗 传输线 cpw 高阻硅 GH 微波 射频
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基于共平面波导的可调低通滤波器的设计和制作
4
作者 刘蕾 郭兴龙 +1 位作者 欧阳炜霞 赖宗声 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1020-1024,共5页
介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点。滤波器截止频率的大小... 介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点。滤波器截止频率的大小取决于MEMS开关的状态。实验结果表明,当MEMS开关受到激励时,低通滤波器的3-dB截止频率从12.5GHz转换至6.1GHz,带内纹波小于0.5dB,带外抑制大于40dB,开关的驱动电压在25V左右。 展开更多
关键词 微机械系统(MEMS) 可调滤波器 平面波(cpw)结构 多触点MEMS开关
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低损耗微波MEMS共平面波导在低阻硅上的实现
5
作者 石艳玲 忻佩胜 +3 位作者 邵丽 游淑珍 朱自强 赖宗声 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期994-998,共5页
在低阻硅衬底上采用常规CMOS工艺和后处理微机械加工技术实现了微波MEMS共平面波导 ,并与高阻硅基平面结构共平面波导特性进行了比较 .采用混合相似剖分有限元方法设计了一组不同特性阻抗值的传输线 ,并通过关键的混合腐蚀技术制备了 5... 在低阻硅衬底上采用常规CMOS工艺和后处理微机械加工技术实现了微波MEMS共平面波导 ,并与高阻硅基平面结构共平面波导特性进行了比较 .采用混合相似剖分有限元方法设计了一组不同特性阻抗值的传输线 ,并通过关键的混合腐蚀技术制备了 50Ω和 1 2 0Ω两种特性阻抗的传输线 .由于腐蚀去除了信号线下方导致损耗的低阻硅衬底 ,使得传输线插入损耗、散射特性等得以改善 .实验中 ,使用矢量网络分析仪分别在微机械加工前后对传输线进行了 1GHz到 40GHz频段的参数测试 ,利用多线分析技术对测试结果进行了分析 .结果表明在微结构悬浮后共平面波导的损耗特性有了大幅度的降低 ,30GHz处插入损耗约为 7dB/cm ,较腐蚀前降低了 1 0dB/cm . 展开更多
关键词 平面波 低阻硅衬底 微机械加工技术 插入损耗
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基于多孔硅的共平面波导制备及传输特性研究
6
作者 游淑珍 石艳玲 +2 位作者 忻佩胜 朱自强 赖宗声 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期203-206,共4页
 多孔硅被认为是RF应用领域中较有潜力的衬底材料。文章利用多孔硅作衬底,制备了微型微波共平面波导,采用多线方法计算出该波导在多孔硅上的插入损耗和有效介电常数;提出了通过多孔硅的相对介电常数来确定多孔度的方法。实验测试结果表...  多孔硅被认为是RF应用领域中较有潜力的衬底材料。文章利用多孔硅作衬底,制备了微型微波共平面波导,采用多线方法计算出该波导在多孔硅上的插入损耗和有效介电常数;提出了通过多孔硅的相对介电常数来确定多孔度的方法。实验测试结果表明,在20μm多孔硅上的波导,其插入损耗在1~30GHz范围内为1~40dB/cm;而在70μm多孔硅上制备的波导,其插入损耗在整个测试频段内不超过7dB/cm。通过有效介电常数的计算,推算出实验制备的70μm多孔硅材料的多孔度约为65%。 展开更多
关键词 多孔硅 平面波 传输特性 阳极氧化 插入损耗 有效介电常数
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一种新型圆形微屏蔽共平面波导的基本特性
7
作者 杜正伟 阮成礼 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期258-261,共4页
提出了一种新型圆形微屏蔽—脊导体共平面波导。基于假设只有纯TEM波传播和零色散的情况下,通过保角变换得到了特性阻抗和有效介电常数的闭合形式的解析表达式。这种新型波导大大降低了传统共平面波导和微带线的辐射损耗和信号线边... 提出了一种新型圆形微屏蔽—脊导体共平面波导。基于假设只有纯TEM波传播和零色散的情况下,通过保角变换得到了特性阻抗和有效介电常数的闭合形式的解析表达式。这种新型波导大大降低了传统共平面波导和微带线的辐射损耗和信号线边缘的电流。 展开更多
关键词 保角变换 微屏蔽 平面波
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玻璃平面波导的热键合制备与界面扩散研究
8
作者 张春瑞 李顺光 +1 位作者 胡丽丽 何冬兵 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第12期293-299,共7页
铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导在散热和抑制非线性效应方面具有独特优势,可开发作为近红外1.5μm高平均功率固体激光器的增益介质,具有重要意义。文中应用光胶热键合方法制备铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导,研究了预键合阶梯升温过程对键合... 铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导在散热和抑制非线性效应方面具有独特优势,可开发作为近红外1.5μm高平均功率固体激光器的增益介质,具有重要意义。文中应用光胶热键合方法制备铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导,研究了预键合阶梯升温过程对键合质量的影响。通过电子探针表面分析(EPMA)得到键合温度和键合时间对键合界面分子扩散层厚度的影响,并根据Fick第二定律,探讨了一维等效假设下的芯层玻璃中的Yb^(3+)扩散机理,建立了热键合过程中的固-固界面分子扩散模型。最终通过选择最优的热处理工艺参数,得到了键合质量良好且键合强度达到11.63MPa的芯层厚度为100μm的三明治结构平面波导。 展开更多
关键词 铒镱掺磷酸盐玻璃 平面波 热键合 固-固界面扩散
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Si/SiO_2系统电荷对高阻硅基CPW传输损耗的影响 被引量:1
9
作者 徐钰 石艳玲 +5 位作者 沈迪 胡红梅 忻佩胜 朱荣锦 刘赟 蒋菱 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期221-225,共5页
通过高频C-V测试得到实验制备的共平面波导(CPW)下方的Si/SiO2系统电荷主要表现为正电荷,其密度约为4.8×1010/cm2。三种不同衬底上50Ω共平面波导分别为直接制备于高阻硅上、高阻硅氧化层上、去除信号线与地线间的高阻硅氧化层上。... 通过高频C-V测试得到实验制备的共平面波导(CPW)下方的Si/SiO2系统电荷主要表现为正电荷,其密度约为4.8×1010/cm2。三种不同衬底上50Ω共平面波导分别为直接制备于高阻硅上、高阻硅氧化层上、去除信号线与地线间的高阻硅氧化层上。20GHz时,测得上述三种CPW的微波传输损耗分别为-0.88dB、-2.50dB及-1.06dB,因此去除线间氧化层使得传输线损耗降低了1.44dB。此外还测试了高阻硅氧化层和除去线间氧化层的高阻硅氧化层上的两种CPW的传输损耗随外加偏压的变化。 展开更多
关键词 平面波 硅/二氧化硅系统电荷 高阻硅衬底
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低电压驱动的硅基Ka波段级联式MEMS移相器 被引量:4
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作者 石艳玲 卿健 +3 位作者 李炜 忻佩胜 朱自强 赖宗声 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1914-1916,共3页
通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容 ,外加电压驱动改变电容值 ,可实现级联式MEMS移相器 .本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求 ,通过工艺参数优化制备了高阻硅基上的Ka波段级联式MEMS移相器 ,测试结果... 通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容 ,外加电压驱动改变电容值 ,可实现级联式MEMS移相器 .本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求 ,通过工艺参数优化制备了高阻硅基上的Ka波段级联式MEMS移相器 ,测试结果表明制备器件具有较低的驱动电压 ,8V时即产生明显的相移量 ,在 36GHz处 15V驱动电压时相移量为 118°,2 5V时为 2 86°.对微结构弹性膜的机械振动寿命测试表明 ,13级级联的MEMS移相器所有弹性膜同步振动的寿命为 3× 10 6次 .为器件的实用化提供了重要保障 . 展开更多
关键词 微机械移相器 高阻硅 驱动电压 振动寿命 MEMS 平面波
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微机电微波/射频开关的力学分析及其工艺研究 被引量:7
11
作者 茅惠兵 忻佩胜 +1 位作者 胡梅丽 赖宗声 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期273-275,共3页
 文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试。微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通。考虑到微机电制备工艺的兼容性,选择PECVD生长的氮化硅作悬臂梁...  文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试。微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通。考虑到微机电制备工艺的兼容性,选择PECVD生长的氮化硅作悬臂梁,聚酰亚胺作牺牲层。测试结果表明,研制的微机电开关在0.5~5GHz的范围内插入损耗为2dB,隔离度达30~50dB。 展开更多
关键词 射频开关 微机电微波 力学分析 平面波 悬管梁 插入损耗 隔离度 制备工艺
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微机械微波/射频开关的制备和功能测量研究 被引量:6
12
作者 茅惠兵 忻佩胜 +1 位作者 胡梅丽 赖宗声 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第11期11-14,共4页
讨论了微机械微波/射频开关的原理、制备工艺和功能测试。微机械接触式微波/射频开关的基本结构是微波共平面波导,在制备工艺中首先考虑的是工艺兼容性,为此选择以PECVD生长的氮化硅为悬臂梁,聚酰亚胺为牺牲层。功能测试表明,该工艺制... 讨论了微机械微波/射频开关的原理、制备工艺和功能测试。微机械接触式微波/射频开关的基本结构是微波共平面波导,在制备工艺中首先考虑的是工艺兼容性,为此选择以PECVD生长的氮化硅为悬臂梁,聚酰亚胺为牺牲层。功能测试表明,该工艺制备的微机械开关的执行电压只有25V,优于同类微机械开关的指标,同时它具有良好的响应特性。 展开更多
关键词 功能测量 微机械 微波/射频开关 悬臂梁 平面波 无线通信设备
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接触式串联射频MEMS开关的工艺研究 被引量:5
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作者 于映 罗仲梓 翁心桥 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期306-308,共3页
本文采用MEMS工艺制作接触式串联射频开关 ,射频开关采用双端固定的悬臂梁结构 ,悬梁为PECVD制作的SiN薄膜 ,溅射Au制作共平面波导 ,聚酰亚胺作为牺牲层 ,运用等离子体刻蚀法释放牺牲层。研究了悬梁、共平面波导以及电极的制作工艺 ,并... 本文采用MEMS工艺制作接触式串联射频开关 ,射频开关采用双端固定的悬臂梁结构 ,悬梁为PECVD制作的SiN薄膜 ,溅射Au制作共平面波导 ,聚酰亚胺作为牺牲层 ,运用等离子体刻蚀法释放牺牲层。研究了悬梁、共平面波导以及电极的制作工艺 ,并分析了牺牲层的制作和刻蚀工艺对开关结构的影响。 展开更多
关键词 平面波 牺牲层 刻蚀工艺 射频开关 MEMS开关 接触式 PECVD 串联 开关结构 电极
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一种宽带螺旋天线的设计 被引量:2
14
作者 朱珊虹 董卫鹏 张琳江 《电子器件》 CAS 北大核心 2015年第4期742-745,共4页
提出了一种宽带螺旋平面天线的设计。采用共平面波导的方式绕成天线,该方法使得天线和馈电网络在同一平面上,可以利用印刷电路板技术制作。通过软件仿真和实际测试显示:该天线具有良好的圆极化和宽频带特性,在频段2.5 GHz^9 GHz上实测... 提出了一种宽带螺旋平面天线的设计。采用共平面波导的方式绕成天线,该方法使得天线和馈电网络在同一平面上,可以利用印刷电路板技术制作。通过软件仿真和实际测试显示:该天线具有良好的圆极化和宽频带特性,在频段2.5 GHz^9 GHz上实测反射损耗小于-10 d B。该天线制作简单、平面化面积小、具有很高的应用价值。 展开更多
关键词 阿基米德螺旋天线 平面波 宽带天线 电磁仿真软件
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硅基微机械微波传输线的制备与特性分析 被引量:1
15
作者 石艳玲 杨震 赖宗声 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期50-52,56,共4页
介绍了三种硅基微机械微波传输线:矩形波导、V型槽及W型槽共平面波导,及其三种传输线的制备工艺流程。分析认为,制备方法不同,导致传输线结构、特性阻抗、插入损耗等特性亦不同。
关键词 微机械工艺技术 矩形波 平面波 插入损耗 硅基 微波传输性
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基于SOI的SOH电光调制器设计
16
作者 齐影 安俊明 +2 位作者 王玥 张家顺 王亮亮 《半导体光电》 CAS 北大核心 2016年第1期7-12,共6页
设计了一种基于绝缘层上硅(SOI)的推挽式硅-有机物混合(SOH)马赫-曾德干涉型(MZI)电光调制器。利用薄膜模式匹配法对槽波导(slot)的光场分布进行了仿真分析,优化后得到了限制因子为0.32的slot波导结构。采用推挽式马赫-曾德干涉仪结构,... 设计了一种基于绝缘层上硅(SOI)的推挽式硅-有机物混合(SOH)马赫-曾德干涉型(MZI)电光调制器。利用薄膜模式匹配法对槽波导(slot)的光场分布进行了仿真分析,优化后得到了限制因子为0.32的slot波导结构。采用推挽式马赫-曾德干涉仪结构,并在相移臂嵌入LX M1非线性有机材料,得到半波电压-长度积V_π·L为0.885V·mm、电学响应带宽f_(RC)可达123.2GHz、开关速度为8.11ps的SOH调制器结构。利用基于本征有限元法求解麦克斯韦方程,对共平面波导电极系统进行了计算仿真,获得了特性阻抗接近50Ω、高频速率匹配的电极结构。 展开更多
关键词 SOH 马赫-曾德干涉仪 电光调制器 slot波 平面波行波电极
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带有MU连接器接口的40Gb/s光接收模块封装技术
17
作者 罗雁横 张瑞君 《电子与封装》 2005年第9期17-19,33,共4页
本文介绍了一种带有MU连接器接口的小型化40Gb/s光接收模块封装技术。详细叙述了光接收模块设计中的三个关键技术。实现了阻抗匹配最佳化,改进了电特性。
关键词 光接收模块 焊凸 平面波(cpw) 倒装芯片结构 M U连接器 封装
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集成光学 光电集成与器件
18
《中国光学》 CAS 2005年第3期45-47,共3页
TN256 2005031940 高压隔离高线性度光电耦合器=High-voltage linear isola- tion optocoupler[刊,中]/张亮(电子科技大学光电信息学 院.四川,成都(610054)),李应辉…∥半导体光电.- 2004,25(4).-264-267 研制了一种高压隔离高线性... TN256 2005031940 高压隔离高线性度光电耦合器=High-voltage linear isola- tion optocoupler[刊,中]/张亮(电子科技大学光电信息学 院.四川,成都(610054)),李应辉…∥半导体光电.- 2004,25(4).-264-267 研制了一种高压隔离高线性度光电耦合器。采用混 合集成技术,在6DIP陶瓷管座内成功制作出了高压隔离 线性光电耦合器。叙述了该器件的工作原理。 展开更多
关键词 阵列波光栅 集成技术 平面波 藕合 光电子 折射率 有限差分 国家重点实验室 束传播方法
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