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MPCVD金刚石膜的拉曼光谱学 被引量:6
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作者 阎研 屈田 +3 位作者 张树霖 赵新生 韩毅松 侯立 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第19期2029-2030,共2页
研究了MPCVD生长的金刚石膜的拉曼光谱。除给出它们的全部一级谱外,还根据纳米结构特有的共振尺寸选择效应,认为MPCVD金刚石膜中不含有纳米晶成分,并认为1145 cm^(-1)峰不能作为生成纳米晶金刚石的判断标准,虽然这个标准已被人们广泛地... 研究了MPCVD生长的金刚石膜的拉曼光谱。除给出它们的全部一级谱外,还根据纳米结构特有的共振尺寸选择效应,认为MPCVD金刚石膜中不含有纳米晶成分,并认为1145 cm^(-1)峰不能作为生成纳米晶金刚石的判断标准,虽然这个标准已被人们广泛地应用了许多年。 展开更多
关键词 金刚石膜 拉曼光谱学 MPCVD 共振尺寸选择效应 尺寸限制效应 纳米结构 微波等离子体化学气相相沉积法
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