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热光Si共振腔型可调谐滤波器 被引量:4
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作者 黄昌俊 左玉华 +4 位作者 成步文 毛容伟 李传波 余金中 王启明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1312-1317,共6页
报道了利用 Si基键合技术和化学机械抛光工艺制作的垂直结构的 Fabry- Perot可调谐滤波器 ,调谐机理为pn结正向注入电流引起的热光效应 .调谐范围可达 2 3nm,响应时间约为 30 0 μs,并给出了获得更快响应和更低能耗的热光和电注入可调... 报道了利用 Si基键合技术和化学机械抛光工艺制作的垂直结构的 Fabry- Perot可调谐滤波器 ,调谐机理为pn结正向注入电流引起的热光效应 .调谐范围可达 2 3nm,响应时间约为 30 0 μs,并给出了获得更快响应和更低能耗的热光和电注入可调谐滤波器件结构改进方案 . 展开更多
关键词 Fabry-Perot可调谐滤波器 热光效应 Si基光电子 共振腔型
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新型隐埋Si/SiO_2做底镜的共振腔型探测器的理论分析 被引量:1
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作者 李成 杨沁清 王启明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第7期601-605,共5页
本文提出一种新型隐埋Si/SiO2Bragg反射器结构的Si基共振腔型光电探测器,该结构具有与集成电路相兼容的特点.理论计算表明量子效率较普通光电探测器提高了3~4倍.
关键词 氧化硅 共振腔型 探测器 光电探测器
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主动式声学超表面研究及其控制系统设计
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作者 欧阳华江 周鑫 +1 位作者 龚柯梦 莫继良 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期441-453,共13页
为克服目前声学超表面存在可重构性差、功能单一以及稳定性较差等不足,基于声学理论并结合可编程逻辑控制器设计了一种可精密调节的多模式共振腔型声学超表面.首先建立了超表面狭缝宽度与相位变化的理论模型,并利用此模型分别计算出实... 为克服目前声学超表面存在可重构性差、功能单一以及稳定性较差等不足,基于声学理论并结合可编程逻辑控制器设计了一种可精密调节的多模式共振腔型声学超表面.首先建立了超表面狭缝宽度与相位变化的理论模型,并利用此模型分别计算出实现连续可调的声聚焦及声折射功能所需的狭缝宽度,且基于执行系统中的电机最大速度对其进行修正;其次设计包含单主多从模式硬件平台和电机运动软件算法的控制系统;最后利用自主研发的声场测试试验台对该超表面进行声波波阵面调制试验,并基于有限元方法分别对超表面调节入射平面波的声场进行数值模拟.试验和数值仿真结果表明,设计的控制系统可精确同步调控超表面狭缝宽度实现多种功能,设计的算法误差在0~1.1%,系统运行平顺性和鲁棒性得到提高,提出的主动式声学超表面解决了传统声学超表面可重构性差和因流体波动性导致共振腔室体积时变问题,增强了超表面的实际应用性,对声学超表面在主动声波操控方面提供了一定的指导. 展开更多
关键词 共振腔型声学超表面 狭缝宽度计算与修正 可编程逻辑控制器 电机运动输出算法 声波波阵面调制试验
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