基于逆向优化策略的面形绝对检测平移量研究

本文针对共轭平移差分方法中的关键参数进行研究,提出了一种基于逆向优化策略的平移量最优解确定方法。首先对差分逼近精度及信噪比进行研究,建立噪声条件下的平移量与面形重建误差模型;然后将被测面面形估计值和随机噪声引起的面形偏差作为变量,利用差分Zernike算法求解面形重建容许误差下的最佳平移量区间;最后采用商用干涉仪对标准镜进行不同平移量下的面形绝对检测对比实验。实验结果表明:平移量的取值会直接影响面形测量精度,在最佳平移区间内进行面形绝对检测所得结果与传统三面互检方法所得结果基本吻合,证明了所提方法可以有效提高平面光学元件的面形测量精度。