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共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟
1
作者
杨崇峰
曾葆青
+3 位作者
刘阳
杨中海
殷吉昊
钱尚介
《真空科学与技术》
EI
CSCD
北大核心
2002年第5期329-332,共4页
本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极 (FEAs) ,它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成。采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相空间图和发射电流 电压等特性 ,并与只有栅极时的情况进...
本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极 (FEAs) ,它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成。采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相空间图和发射电流 电压等特性 ,并与只有栅极时的情况进行对比 ,表明反射极对电子注有会聚作用 ,能形成层流性良好的电子注 。
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关键词
共面双栅极
FEAs
真空微电子学
结构
金刚石薄膜
计算机模拟
场发射阵列阴极
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职称材料
题名
共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟
1
作者
杨崇峰
曾葆青
刘阳
杨中海
殷吉昊
钱尚介
机构
北京真空电子技术研究所
电子科技大学高能电子学研究所
核工业西南物理研究院
出处
《真空科学与技术》
EI
CSCD
北大核心
2002年第5期329-332,共4页
基金
国家自然科学基金 (No .60 0 710 2 2 )
大功率微波电真空器件技术国防重点实验室基金资助项目
文摘
本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极 (FEAs) ,它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成。采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相空间图和发射电流 电压等特性 ,并与只有栅极时的情况进行对比 ,表明反射极对电子注有会聚作用 ,能形成层流性良好的电子注 。
关键词
共面双栅极
FEAs
真空微电子学
结构
金刚石薄膜
计算机模拟
场发射阵列阴极
Keywords
Electron beams
Field emission cathodes
分类号
TN103 [电子电信—物理电子学]
TN105 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟
杨崇峰
曾葆青
刘阳
杨中海
殷吉昊
钱尚介
《真空科学与技术》
EI
CSCD
北大核心
2002
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