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共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟
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作者 杨崇峰 曾葆青 +3 位作者 刘阳 杨中海 殷吉昊 钱尚介 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2002年第5期329-332,共4页
本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极 (FEAs) ,它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成。采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相空间图和发射电流 电压等特性 ,并与只有栅极时的情况进... 本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极 (FEAs) ,它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成。采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相空间图和发射电流 电压等特性 ,并与只有栅极时的情况进行对比 ,表明反射极对电子注有会聚作用 ,能形成层流性良好的电子注 。 展开更多
关键词 共面双栅极 FEAs 真空微电子学 结构 金刚石薄膜 计算机模拟 场发射阵列阴极
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