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射频微机械共面波导开关测试技术研究 被引量:1
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作者 张正元 肖坤光 +3 位作者 徐世六 张正璠 欧益宏 温志渝 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期12-14,18,共4页
 通过对射频微机械共面波导(CPW)开关的工作原理进行分析,提出了一种测试射频微机械开关的电路结构。根据Cadence工作站的模拟,验证了该方案的可行性,并获得了该测试结构的优化电参数条件,为射频微机械CPW开关的测试和应用打下了基础。
关键词 射频微机械 共面波导开关 金属膜 CPW 工作原理
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