一种新型高灵敏度光电微压传感器

本文介绍一种高灵敏度光电微压传感器。它采用线性膜盒为敏感元件，以发光二极管和大面积硅差分光电二极管为光电元件，利用遮挡式光电变换结构，将检测所得的膜盒微量位移信号，通过电子线路和单片机处理，直接显示压力。传感器采用差动补偿和光反馈稳定等措施，消除光源波动及环境温度变化的影响，具有很好的稳定性。在未经微机校正时，传感器在０～６０００Ｐａ范围内，非线性误差小于０．３％，分辨力优于２０Ｐａ。