灰色关联度量化模型的改进

文章通过对李学全(1995)提出的灰色关联度量化模型的分析,在以角度为主要工具来度量关联度的同时,使用两序列对应折线的夹角正切值之间的差异来衡量序列间的关联系数,并引入正负关联性,最后以赋予权重方式将关联系数合成为关联度。提出的改进关联度量化模型能够简化原模型的计算量,并且弥补原模型在两比较序列与原序列对应折线所成转角之和为π时无法区分关联度的情形。并给出应用实例。

用改进灰关联法研究磁控溅射工艺参数对二氧化钛镀膜的影响

磁控溅射中工艺参数对二氧化钛镀膜透过率和厚度有较大影响,传统工艺参数决策所采用的单一因素法忽略参数间的关联性。构建的改进灰关联度量化模型在基于数据绝对位置差异的传统灰关联模型的基础上,考虑了数据间变化率差异,结合磁控溅射中主要影响参数──溅射温度、本底真空压强、溅射气压和溅射电压,对不同改进模型参数进行实验,从实验结果中得到最优的改进灰关联度量化模型。用所建模型对不同数量组的二氧化钛薄膜透过率和厚度进行分析,并与相关性模型和传统灰关联模型进行比较。结果表明:相比于传统灰关联模型,所提出的改进模型在检测准确率上提升5~10个百分点,且更适合于透过率的工艺性能检测。