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题名双质量块MEMS陀螺内互联引线的设计与实现
被引量:1
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作者
张方媛
牛昊彬
闫鑫
陈旭辉
李关红
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机构
中国航空工业集团西安飞行自动控制研究所
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2021年第3期394-397,405,共5页
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基金
国家重点研发计划(2017YFB1104604)。
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文摘
为了进一步提高微机电(MEMS)陀螺在体积、重量和功耗上的优势,开展了MEMS双质量块陀螺密封腔内互联引线设计,该设计增大了陀螺的有效设计面积,减少了芯片体积,实现复杂信号引线布线。设计了齿状互联引线接口结构,分别选用Al和AlCu作为互联引线材料进行对比试验,同时对比分析了电极厚度对键合面和导通性的影响。最终确定合适的工艺参数为:伸入键合区长度为20μm,齿状数目为10,电极材料为Al,厚度为0.2μm。完成了基于该引线设计的双质量块陀螺制作,实现信号导通。样机测试结果表明,其真空密封品质因数能够达到200000以上。
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关键词
MEMS陀螺
双质量块
内互联
品质因数
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Keywords
MEMS gyroscope
dual-mass
inner-connection
Q value
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分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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