硅晶棒内圆锯切加工过程的锯切力分析

通过对内圆锯切力进行计算分析,分析了内圆锯片锯切硅晶棒的锯切力特征以及进给速度、主轴转速和工件尺寸等锯切工艺参数对锯切力的影响。由计算分析可知,锯切力是连续变化的,变化特征与接触弧长的变化特征相同,法向锯切力比切向锯切力对锯切加工过程的影响更显著;锯切工艺参数对内圆锯切力的影响明显,对锯切工艺参数进行合理选择和优化改善接触弧长,可有效改善锯切力状态,保证锯切加工过程的平稳性。