数字散斑干涉面内变形内窥测量方法研究

针对现阶段数字散斑干涉内窥测量技术只能间接测量物体面内变形的问题,提出了一种双路照明的内窥式数字散斑干涉面内变形直接测量的方法,避免了离面变形对面内变形测量的影响。通过在相移式数字散斑干涉技术中结合内窥镜进行测量,并且使用对称分布的多模光纤形成双光路照明,实现了对空腔、深孔或被遮掩物面内形变的高精度测量。实验实现了入口直径为40 mm的空腔内部面内变形直接测量,当工作距离为20 mm时,测量面积可达到300 mm^2,测量分辨率达到68 nm。

全光纤数字散斑干涉面内变形内窥测量

提出了一种全光纤内窥式数字散斑干涉面内变形测量方法,能够实现对深孔、空腔和被遮掩表面纯面内变形的精密测量。通过构建双光路对称照明的散斑干涉光路布局,以及设计光纤相移器,最终实现了一种稳定性高、抗干扰能力强的内窥式数字散斑干涉装置。实验装置实现了入口直径为40 mm的空腔内部面内变形直接测量,最大测试面积约为113 mm^2。实验结果表明,将实验装置安装在普通的木质办公桌上进行测量,在有人为干扰的情况下,依然可以得到比较理想的实验结果,证明了所构建的全光纤内窥式数字散斑干涉装置具有较强的抗干扰能力。

面阵CCD内窥定位测量中的图像扫描拼接方法及其精度分析

介绍了采用面阵ＣＣＤ的管孔内窥定位测量中的两种图像扫描和拼接方法，给出了其图像拼接方程；并在对其图像拼接精度进行分析的基础上，指出了影响图像拼接精度的主要因素．

非接触光电窥测仪瞄准及定位方法研究

在非接触光电窥测仪的设计中需要解决两个基本问题：一是如何通过特殊的光学手段把在内孔狭小空间中的被测信息提取出来；二是如何进行测头定位来解决测量基准问题。本文报导了我们设计的非接触光电窥测装置的工作原理。通过方案比较，提出了以图像位置偏移作为瞄准判据及５ 步定位方法。