洁净区温湿度自控系统的内膜PID前馈补偿解耦算法研究

基于洁净区内温湿度自控系统管路庞大、干扰多、时滞和耦合明显等现象,提出一种内膜PID前馈补偿解耦控制策略,利用阶跃响应法建立系统模型。在Matlab环境下,对系统搭建仿真模型,经仿真结果及现场调试数据显示,该控制算法具有良好的动、静态控制品质,对洁净区温湿度自控系统是可行与有效的。