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以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法 被引量:3
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作者 王庚林 李飞 +1 位作者 李宁博 刘永敏 《中国电子科学研究院学报》 2014年第3期325-330,共6页
基于内外气体交换的分子流模型,采用了以τHemin为基本判据和定量确定最长候检时间的方法,提出了以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法及其氦气含量法和氩气含量法,给出了这种方法的判据公式、压氦或压氩压力时间和最长候检时间公... 基于内外气体交换的分子流模型,采用了以τHemin为基本判据和定量确定最长候检时间的方法,提出了以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法及其氦气含量法和氩气含量法,给出了这种方法的判据公式、压氦或压氩压力时间和最长候检时间公式或确定方法,规定了检测判定程序。内部气体质谱分析,需要时辅以粗漏检测,能够进行具有更高灵敏度和准确性的、破坏性的密封性检测,可用于鉴定检验、周期检验和认证性检测。 展开更多
关键词 内部气体质谱分析 氦气含量法 氩气含量法 最长候检时间 密封性检测
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